ທາດຍ່ອຍ MgF2
ລາຍລະອຽດ
MgF2 ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນເລນ, prism ແລະປ່ອງຢ້ຽມສໍາລັບ wavelength ຈາກ 110nm ຫາ 7.5μm.ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມທີ່ສຸດເປັນປ່ອງຢ້ຽມສໍາລັບ ArF Excimer Laser, ສໍາລັບເຫດຜົນຂອງການສົ່ງທີ່ດີຂອງມັນຢູ່ທີ່ 193nm.ມັນຍັງມີປະສິດທິພາບເປັນ polarizing optical ໃນພາກພື້ນ ultraviolet.
ຄຸນສົມບັດ
| ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm3) | 3.18 |
| ຈຸດລະລາຍ (℃) | 1255 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 0.3 Wm-1K-1 ທີ່ 300K |
| ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ | 13.7 x 10-6 / ℃ ຂະຫນານ c-axis 8.9 x 10-6 / ℃ perpendicular c-axis |
| ຄວາມແຂງຂອງ Knoop | 415 ກັບ 100g indenter (kg/mm2) |
| ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນສະເພາະ | 1003 J/(kg.k) |
| ຄົງທີ່ Dielectric | 1.87 ຢູ່ທີ່ 1MHz ຂະໜານ c-axis 1.45 ຢູ່ທີ່ 1MHz perpendicular c-axis |
| Youngs Modulus (E) | 138.5 GPa |
| Shear Modulus (G) | 54.66 GPa |
| ໂມດູລຫຼາຍ (K) | 101.32 GPa |
| ຄ່າສໍາປະສິດ elastic | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
| ຂີດຈຳກັດຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ປາກົດ | 49.6 MPa (7200 psi) |
| ອັດຕາສ່ວນ Poisson | 0.276 |
ຄໍານິຍາມ substrate MgF2
MgF2 substrate ຫມາຍເຖິງ substrate ທີ່ເຮັດດ້ວຍ magnesium fluoride (MgF2).MgF2 ແມ່ນສານປະກອບອະນົງຄະທາດທີ່ປະກອບດ້ວຍອົງປະກອບຂອງ magnesium (Mg) ແລະ fluorine (F).
ແຜ່ນຮອງ MgF2 ມີຄຸນສົມບັດທີ່ໂດດເດັ່ນຫຼາຍອັນທີ່ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເປັນທີ່ນິຍົມໃນຫຼາຍໆດ້ານ, ໂດຍສະເພາະໃນດ້ານ optics ແລະການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາບາງໆ:
1. ຄວາມໂປ່ງໃສສູງ: MgF2 ມີຄວາມໂປ່ງໃສດີເລີດໃນເຂດ ultraviolet (UV), ເບິ່ງເຫັນແລະ infrared (IR) ພາກພື້ນຂອງ spectrum ໄຟຟ້າ.ມັນມີລະດັບການສົ່ງຜ່ານຢ່າງກວ້າງຂວາງຈາກ ultraviolet ຢູ່ທີ່ປະມານ 115 nm ກັບ infrared ທີ່ປະມານ 7,500 nm.
2. ດັດຊະນີການຫັກເຫລັ້ມຕໍ່າ: MgF2 ມີດັດຊະນີການຫັກລົບທີ່ຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການເຄືອບ AR ແລະ optics, ຍ້ອນວ່າມັນຫຼຸດຜ່ອນການສະທ້ອນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການແລະປັບປຸງການຖ່າຍທອດແສງສະຫວ່າງ.
3. ການດູດຊຶມຕໍ່າ: MgF2 ສະແດງໃຫ້ເຫັນການດູດຊຶມຕໍ່າໃນບໍລິເວນ ultraviolet ແລະ spectral ສັງເກດເຫັນ.ຄຸນສົມບັດນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນປະໂຫຍດໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມຊັດເຈນດ້ານ optical ສູງ, ເຊັ່ນ: ທັດສະນະ, prisms, ແລະປ່ອງຢ້ຽມສໍາລັບ ultraviolet ຫຼື beams ເບິ່ງເຫັນ.
4. ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ: MgF2 ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ, ທົນທານຕໍ່ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງສານເຄມີ, ແລະຮັກສາຄຸນສົມບັດ optical ແລະທາງດ້ານຮ່າງກາຍພາຍໃຕ້ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງສະພາບແວດລ້ອມ.
5. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ: MgF2 ມີຈຸດ melting ສູງແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກສູງໂດຍບໍ່ມີການຊຸດໂຊມທີ່ສໍາຄັນ.
ຊັ້ນລຸ່ມ MgF2 ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການເຄືອບ optical, ຂະບວນການຝາກຮູບເງົາບາງໆ, ແລະປ່ອງຢ້ຽມ optical ຫຼືເລນໃນອຸປະກອນແລະລະບົບຕ່າງໆ.ພວກມັນຍັງສາມາດເປັນຊັ້ນbuffer ຫຼືແມ່ແບບສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາບາງໆອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: ວັດສະດຸ semiconductor ຫຼືການເຄືອບໂລຫະ.
substrates ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຜະລິດໂດຍປົກກະຕິໂດຍນໍາໃຊ້ເຕັກນິກເຊັ່ນ: ການລະບາຍອາຍພິດຫຼືວິທີການຂົນສົ່ງ vapor ທາງດ້ານຮ່າງກາຍ, ບ່ອນທີ່ວັດສະດຸ MgF2 ຖືກຝາກໄວ້ໃນວັດສະດຸ substrate ທີ່ເຫມາະສົມຫຼືປູກເປັນໄປເຊຍກັນດຽວ.ອີງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, substrates ສາມາດຢູ່ໃນຮູບແບບຂອງ wafers, ແຜ່ນ, ຫຼືຮູບຮ່າງທີ່ກໍາຫນົດເອງ.
